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产品名称:
产品简介:
适用于投产边长尺寸182mm~230mm,厚度110-220μm,翘曲度<3度的硅片,制绒前上料、激光SE下料、扩散(退火、氧化、镀膜、印刷)上料等隐裂、PL检测。
硅片、电池片隐裂和外观检测,无需根据电池片的尺寸进行调节,可兼容230mm以下的电池片尺寸。
产品功能:在线全自动检测隐裂、崩边、缺角、脱晶等各类内部缺陷。
可检缺陷:隐裂、破片、缺口、正背崩边、点黑、圈黑、划痕、皮带印、块黑、手印、吸盘印、翻液、顶齿印、蓝齿印、水印、片内明暗差异、吸盘印、舟印、顶齿印、线痕、黑斑、黑边、黑角、脏污、白斑、烧结不均、断栅、同心圆等。
适用工位:制绒前上料、激光SE下料、扩散(退火、氧化、镀膜、印刷)上料等
检测指标:采图形方式(静态/动态)
检测精度:0.1mm/pixel,隐裂 :宽度≥20um,长度≥1mm,崩边 :面积≥0.25mm²,破片 :面积≥0.25mm²
410×313×752mm
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